|
Океан памяти на острие иглы
|
|
|
|
|
|
"Российская газета", 15.01.1999, Москва, n7
|
|
|
|
#Уникальная технология изготовления ультрабольших интегральных схем, разработанная российскими учеными, открывает новые, широкие возможности в электронике. Тем не менее она оказалась невостребованной ни у нас, ни за рубежом, но по разным причинам.#
|
|
|
|
Как это нередко бывает, писали оперу - получился балет... Группа инженеров МАИ работала над созданием газофазного ядерного двигателя для космических аппаратов. Под этим названием скрывалась принципиально новая энергетическая установка, позволяющая значительно расширить пределы досягаемого космоса. А исследователям, чтобы правильно рассчитать процессы, бушующие в камере могучего агрегата, потребовалось основательно изучить физику плазмы - состояния вещества, у атомов которого сорваны с оболочек электроны. Конструировали такой двигатель и американцы, причем не делали из этого секрета. Но когда разработка была закончена, оказалось, что исследователи, выражаясь языком официального документа, "значительно опередили промышленные возможности". Иначе говоря, техника еще до таких высот не доросла и ни одно предприятие в мире не могло изготовить этот агрегат. Та же участь постигла и заокеанских коллег. Работу пришлось приостановить, причем одновременно в США и у нас, как говорится, до следующего тысячелетия. Но не пропадать же накопленным знаниям втуне.
|
|
|
|
- Наша группа перешла в Институт электронной техники в подмосковном Зеленограде, городе микроэлектроники, - рассказывает кандидат технических наук Валентин Рябый. - Мы нацелились на создание технологии изготовления интегральных схем микрочипов с использованием уже изученных нами плазменных процессов. А для создания самой плазмы решили использовать высокочастотный емкостный разряд. В то время западные фирмы изготавливали чипы памяти емкостью в 4-16 мегабайт, тогда они назывались большими. Отечественная же промышленность никак не могла перейти к одному мегабайту. По нашим прикидкам, мы могли в те же крохотные по размерам интегральные схемы "втиснуть" огромную память. Создать так называемые ультрабольшие чипы, о которых в то время уже мечтали электронщики.
|
|
|
|
- В 1981 году я возобновил свои старые научные связи с кафедрой электроники МГУ, а конкретнее - с группой кандидата физматнаук Владимира Савинова, - продолжает Валентин Рябый. - И оказалось, что еще двадцать лет назад ими были выявлены такие аспекты физики ВЧЕ-разряда, к пониманию которых только теперь начали подходить западные исследователи и технологи. До сих пор они двигались мпирически, "методом тыка". А ведь работали в таких могучих микроэлектронных фирмах, как IBM, AT&T, InteL и другие. Здесь мы ушли далеко вперед. И объединив наши две группы - МАИ и МГУ, приступили к созданию плазмо-химического реактора для изготовления чипов, гораздо более совершенных, чем существующие в то время.
|
|
|
|
Эта работа заняла шесть лет. В 1986 году Госкомитет по делам изобретений и открытий выдал авторское свидетельство на реактор нового поколения, значительно превышающий мировой уровень. месте с еще двумя изобретениями это уже была готовая технология для внедрения в промышленность. Она блестяще прошла испытания в зеленоградском НИИ точной технологии и новосибирском производственном предприятии "Восток". Физические аспекты работы были, кроме России, опубликованы в Италии и Японии. И к концу 80-х промышленность была готова начать широкое внедрение новой технологии. Даже сейчас, двенадцать лет спустя, она превосходит по производительности и техническим качествам лучшие современные американские и японские аналоги не на проценты и не в 2-3 раза, а, как уверяют авторы, в 10-100 раз, позволяя производить высококачественные подложки огромной плотности. Более того, если очень сложная американская технология требует специалистов высочайшей квалификации, то российская за счет жесткой диагностики процесса позволяет поручить эту работу обычным техникам и рабочим.
|
|
|
|
Но новинка не получила зеленую улицу. На Западе ее не приняли по весьма простой причине: замена действующей технологии на другую, пусть и гораздо более совершенную, требовала огромных капиталовложений, а значит, существенного уменьшения прибыли. Тем более что возможности старой технологии еще не были исчерпаны. У нас причина была тоже экономическая - начался финансовый обвал. Предприятиям было уже не до освоения технических новшеств, а перед наукой встала одна проблема - как выжить. В результате группа распалась: из 12 человек остались двое. И заняты они отнюдь не научной работой.
|
|
|
|
- Мы ищем источники финансирования, - говорит Валентин Рябый. - По всему миру разослали около 120 писем на английском языке. Откликнулись процентов десять адресатов, но все ответы какие-то расплывчатые, неопределенные. Наконец, определились два спонсора: президент банка "Казачество" Евгений Калинин и председатель правления калифорнийской фирмы "Транс америкен комьюникейшн" Рэйнер Майман. Он объяснил, что видит место нашему реактору в своем проекте. Но поскольку это проект военного назначения, то в Москву он приехать не решился, а предложил встретиться в любом месте Европы. Встречу должен был организовать Калинин, но поставил условие: положительные результаты испытаний. Это условие мы выполнили - провели успешные испытания реактора в Минском объединении "Интеграл". Были получены чипы, способные совершить переворот в микроэлектронике. Тогда же были решены и первые финансовые вопросы. А потом Евгений Калинин погиб при странных обстоятельствах, и все дело застопорилось.
|
|
|
|
Погиб при странных обстоятельствах... Не так уж редко приходится слышать такие сообщения, за которыми, как правило, стоят чьи-то интересы. Чаще всего финансовые. А ведь российская разработка могла бы поставить многие могучие фирмы перед трудным выбором. Впрочем, это всего лишь ничем не подкрепленные предположения. Но с тех пор так она и лежит на полке - уникальная технология получения ультрабольших интегральных схем высочайшего качества. А Валентин Рябый ищет по всему миру деньги. По его словам, нужно 40-50 тысяч долларов, чтобы выйти на мировой рынок. Только вот как в том анекдоте: кто же ему даст?
|
